对话新质生产力|合肥昱驰真空技术有限公司：助力高端真空设备国产化

分类：新闻动态
作者：
来源：安徽科技报
发布时间：2024-11-26 09:06
访问量：

【概要描述】昱驰真空是目前国内已进入集成电路关键制造设备——离子注入机供应链的磁悬浮分子泵生产企业，具有从理论设计验证到机加生产和装配测试的全流程生产能力。公司不仅凸显了其在领域的深厚实力，也展示了在行业创新与发展方面的坚定决心。昱驰真空不仅加强了与业界的交流与合作，更为进一步拓展市场、推动技术创新奠定了坚实基础。

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分子泵是工业生产获取真空的核心零部件，广泛应用于半导体、光学镀膜、真空玻璃、锂电、光伏、面板等多种高端制造中。随着工业领域改造升级、光伏降本和新工艺路线出现、锂电复合集流体技术的要求，作为设备核心零部件的分子泵面临快速迭代增长的市场机会。合肥昱驰真空技术有限公司（以下简称昱驰真空）紧扣市场产业需求，加快在研发、产业化工程研究的进程，凭借在真空领域多年深入耕耘，补强了国产真空零部件领域的研发生产空白。

昱驰真空是目前国内已进入集成电路关键制造设备——离子注入机供应链的磁悬浮分子泵生产企业，具有从理论设计验证到机加生产和装配测试的全流程生产能力。公司不仅凸显了其在领域的深厚实力，也展示了在行业创新与发展方面的坚定决心。昱驰真空不仅加强了与业界的交流与合作，更为进一步拓展市场、推动技术创新奠定了坚实基础。

强强联合行业发展引领新机遇

昱驰真空将进一步实现磁悬浮分子泵及真空装备的产业化和市场开拓，凭借产品大口径、高抽速、高稳定性的优势，加快半导体产业链所需的分子泵设备生产。同时保持公司产品在高端光学设备领域的领先性，积极拓展光伏和锂电等行业领域。

目前公司已经引入大唐电信（600198.SH）、华润微（688396.SH）、长江创新（000783.SZ）、龙芯中科（688047.SH）、国投创业、季华璀璨投资、飞图创投等产业投资人的战略投资并正式进军半导体产业，以期实业报国，为半导体产业链的国产化贡献自己的力量。

公司的全资子公司北京四海祥云流体科技有限公司是研发生产高真空分子泵的专业厂家，为双高新企业（国家高新技术企业和中关村高新技术企业）。在真空产品（包括传统轴承的分子泵）的研发生产方面积累了雄厚的技术经验，而且目前已实现了机械轴承式分子泵的量产和市场推广，同时实现磁悬浮分子泵产品小批量产。

科技成就产业创新永不止歇

科技进步是推动新质生产力发展的重要因素。新科技能提高生产效率、降低成本、提供新产品和服务。昱驰真空主要产品为磁悬浮分子泵和机械轴承分子泵，公司团队专注于分子泵领域已有二十余年，曾承担科技部重大仪器仪表专项，并持续以产学研融合为牵引，创新研制具有自主知识产权的超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵，实现了磁悬浮超高真空分子泵产品的产业化生产，推动我国半导体、新能源、新材料等领域高端分子泵国产替代。

凭借深厚的技术储备，公司团队在2005年研制出首台整体转子复合分子泵，2010年研制出FFD可任意角度安装复合分子泵，2012年参与国家重大仪器专项“开发大抽速磁悬浮分子泵”，2013年研制出国际首台MDP抗大气冲击复合分子泵，2016年研制出国内首台400口径磁悬浮分子泵，2018年推出国内首台400口径任意角度安装复合分子泵，2020—2021年首台产业化磁悬浮分子泵工程样机应用于半导体产业，2022—2023年，批量推出性能对标国外磁悬浮分子泵的系列化产品。

目前公司磁悬浮分子泵抽速范围覆盖2200~4500L/S，其中抽速3300L/S、3800L/S、4500L/S型及以上抽速磁悬浮分子泵为数不多。机械轴承分子泵抽速范围覆盖300~5000L/S，其中抽速4500L/S及以上可任意角度安装的机械轴承分子泵在行业内也为少数。