YCTM-4503
YCTM-4503
半导体制造和表面科学研究过程一般都要求清洁的高真空环境及长时间连续运转时高的工作可靠性。磁悬浮系统可以很好的满足上述要求。同时，针对有腐蚀或沉积性的恶劣工作环境，分子泵内部设计了耐腐镀层、充入保护气体以及采用关键零件烘烤结构。
昱驰真空通过采用这种高性能的轴承技术，确保分子泵能长时间的无振动稳定运行，大大提高分子泵的可靠性、稳定性。2017年研制出国内首台400口径磁悬浮分子泵，2021年首台产业化demo磁悬浮分子泵应用于半导体产业，2024年PVD/CVD环节通过验证，推出刻蚀环节磁悬浮分子泵。目前公司已小批量生产DN250、DN320、DN400口径磁悬浮复合分子泵。
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